第239章

102所又一次国际震撼

asml研发中心,冯林生正在演示102所激光光源的最新研究成果。

这可不是ppt演示,是实物展示,或者也可以说是技术认定。

氟化氩准分子激光器是一种利用激发态的准分子arf*衰变释放193nm光子的激光装置。其工作原理是相当精妙的,通过放电和反应过程实现光子的放大和放出。

当放电通过ar/f2混合物时,会产生ar+离子和电子。这些电子会与氩原子碰撞并激发它们,使其达到激发态。一旦氩原子被激发,它会与氟分子发生反应,形成激发态的准分子arf*。这个准分子态会在瞬态下自发衰变回未结合的氩和氟原子,在这个过程中,会释放出193nm的光子。

为了将这个激发态的准分子有效放大,并产生激光振荡,激光器内部放置了两个反射镜,形成一个光学腔。这样一来,激发态的准分子会引起受激发射和激光振荡,进一步形成和衰变,释放出更多的193nm光子。这些光子在激光器内不断反射,并与更多的激发态准分子相互作用,产生更多的光子。这个过程不断重复,使得光子数量逐渐增加。

最后,光束通过部分反射输出镜射出,形成一束强大的193nm激光。为了维持持续的激光作用,泵浦保持着所需的电子密度和激发。泵浦的作用是通过外部能源为放电提供足够的能量,以保持激光器的运行。

原理看起来很简单,不过混合物的压力、温度,激发时的电压,振荡器的设置,光学腔的摆放,当然最为核心的就是泵浦,需要在计算机上核算每一秒输出的能量,并控制整个过程中的电压。

就跟核裂变反应差不多,泵浦给的能量少了,氟化氩激光器不能稳定运行,而泵浦给的能量多了,那可能直接把反应堆给爆了……

这些都要建立精确的数学模型进行计算。

而专门为氟化氩光源设计的ssppm固态脉冲功率模块,则完全是102所的黑科技了,双腔体结构准分子激光可以完全兼顾功率与线宽。

当直流充电电压达到800伏特,工作频率达到1千赫兹放电的脉冲上升到90纳秒,脉冲电压则高达16.9千伏……

asml光源研究所总监皮埃路易吉·塔米大呼:“上帝啊,我到底看到了什么?”

外行看热闹,而内行看到这一个个数据,已然看到一座高山,需要仰望的高山。

氟化氩技术路线不是102所提出来的,早在三十年前,就有人发现氟化氩准分子受激发射193纳米激光现象。

全世界都在研究,如何收获稳定而且有着高功率的激光光源。

而拦住的门槛可不止一个,高频泵浦电源以及激光器始终是解决不了的高山。

而双腔同步振荡放大技术则是102所的独创,基本思想是利用种子腔获得窄线宽优质种子光。

一般输出能量小,将种子光注入到pa放大腔实现光能量放大,获得窄线宽、大功率的优质激光束输出。双腔固态电源的引入大大提高了准分子激光器件的输出功率。

193纳米紫外线肉眼是看不见的,但探测器可以检测到,不光检测到,还可以测量这束激光的功率。

“67w,功率上下波动在5%以内!”

“……”

30w的功率就可以进入商用了,而67瓦已经超过标准的两倍。

而检测光束方向等仪器传来的数据,都远超标准需求。

克里斯·阿姆斯特朗眼睛在发光,他很清楚asml要是装上193纳米激光器,意味着什么?

尼康,佳能,再也不是横在asml面前的大山,他们可以轻易的用代差将尼康、佳能踩在脚下。

他们要跟102所继续合作,就跟246纳米氟化氪激光器合作那样……

……

而此时,法国巴黎……

巴统协会第二百八十四次例行会议,轮值主席国美利坚抛出一项议案。

美方提出的理由依然基于安全方面的考虑。

“基于西方的技术,开发了500纳米制程的技术,据我们调查所知,他们已经把这项技术用在军事上……”

那你倒是能拿出实质证据啊!

当然,他们也知道欧洲人不一定认同,接下来就是他们豢养的两条犬上来表演了。

这一点,老毛子是看的很清楚的,他们认为要是美利坚一

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